智能系統應用
陣列3D檢測技術
- 技術特色
- 陣列式檢測技術協助高精度檢測擴大視野，協助半導體/先進封裝/μLED產業提升檢測效率。
技術內容
解決既有奈米等級檢測受限於單鏡頭視野範圍僅能進行實驗室抽檢，無法滿足線上檢測瓶頸。將平行陣列化概念導入需大視野範圍之高精度檢測產業，如:半導體、先進封裝、μLED產業，實現多個陣列化視野皆可維持高精度，同時掃描的效果，且精度媲美於單鏡頭，檢測效率至少提升4-10倍，滿足奈米級線上檢測在製程上的要求。單位：智慧感測與系統科技中心
姓名：李政韋
電話：06-3847498
信箱：bensonli@itri.org.tw