智能系統應用
低耗能半導體製程廢氣洗滌材料
- 技術特色
- 首創離子液體除氨技術，提升半導體廠洗滌設備之氨氣吸收效能，以達趨嚴之法規標準(<1 ppm)
技術內容
首創離子液體除氨技術，可去除微量氨氣之離子液體，提升半導體廠洗滌設備之氨氣吸收效能，解決現行半導體廠洗滌設備處理效能不足所造成用水處理量過大與排放濃度過高之問題，以達趨嚴之法規標準(<1 ppm)，面對2025年加嚴的排放標準，提供一項低耗能可行之高風量/微量NH3去除技術。單位：綠能與環境研究所
姓名：徐芷涵
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