智能系統應用

蛇腹式電漿診斷分析系統

技術特色
能有效解決設備空間限制因素，無法快速驗證電漿特性之問題與提供全面域量測驗證技術。

技術內容

本系統透過蛇腹式探針結構設計，能有效解決因設備空間限制無法檢測電漿特性之問題，未來將能提供國內設備業者進行全面區域量測驗證測試，來加速設備驗證速度，帶動半導體真空製程設備產業技術升級與產品加值，量測參數包括：電漿電位、浮動電位、電漿密度、電子溫度、電子能量分佈等空間分布。
 

單位：機械與機電系統研究所
姓名：林冠宇
電話：03-5918664
信箱：guanyulin@itri.org.tw
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