化合物半導體
鋁鈧(AlSc)合金靶
- 技術特色
- AlScN因優異特性成B5G/6G時代下射頻濾波器的首選。本計畫開發高品質鋁鈧合金靶材為下一代通訊設備提供關鍵技術，實現小型化、高效率和高可靠性。
技術內容
B5G/6G時代為射頻濾波器帶來前所未有的性能挑戰，其中AlScN因其優異的縱波聲速和卓越的熱穩定性成為新一代濾波器材料的首選，然而，高品質AlScN薄膜的製備有賴於優質的鋁鈧合金靶材。本計畫聚焦於開發符合國際一流製造商技術規格的鋁鈧合金靶材，藉由材料合成、純化和製靶技術建立為下一代無線通信設備的小型化、高效率和高可靠性提供關鍵技術。單位：材料與化工研究所
姓名：高宥榛
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