HPC半導體技術

雷射誘發週期表面微結構

技術特色
利用超快脈衝改變材料表面的物理與化學特性，如抗反射，抗沾黏，親疏水性等新製程開發。

技術內容

利用「超快脈衝」改變材料表面的物理與化學特性，如：抗反射，抗沾黏，親疏水性等新製程開發。可應用在半導體基板(如：寬能矽半導體)、也可應用於光學資料儲存元件開發製程中，記錄不同類型的光資訊，以及應用在基本光電元件選擇性吸收器設計上。
 

單位：南分院
姓名：李益志
電話：06-6939339
信箱：Ethanlee@itri.org.tw
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